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- 产品描述：瑋榤科技有限公司； E-Chuck--靜電吸盤
产品介绍
我司代理瑋榤科技的E-Chuck--靜電吸盤产品。有意这请咨询！
E-Chuck--靜電吸盤是於電極印加電壓使電極和對象物之間，產生吸附力量的裝置。被廣泛應用在6/8/12吋晶圓蝕刻、光罩、光刻(黃/紫光/深紫光)、CP等IC製作階段的晶圓承載設備中，是屬於必要耗材類治具。
